摘要： 半导体专业是工程应用型学科,着重培养学生的实践能力,实验教学环节至关重要.由于实验成本及实验场地的局限性,半导体加工技术实验难以线下开展.长期以来,课程理论与实践难以结合,学生缺乏学习主动性,不利于工程型人才的培养.因此,郑州大学物理学院(微电子学院)建设了"MEMS制造光刻实验虚拟仿真教学"平台并引入实验教学,通过构建逼真的光刻实验环境和实验设备,达到与真实实验一致的学习体验.新的实验教学方法通过有效融合理论知识学习、实验步骤操作、学习效果考核、线下学习等环节,建立了完善的跟踪反馈机制,可有效激发学生自主学习兴趣.

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doi：

10.12223/j.2095-6711.2021.02.091

关键词：

虚拟仿真  光刻  实验教学

作者：

马刘红  李梦珂  钟英辉  段智勇

作者单位：

郑州大学物理学院(微电子学院)

刊名：

当代教育实践与教学研究（电子刊）

Journal：

Contemporary Education Research and Teaching Practice

年，卷(期)：

2021,(2)

所属期刊栏目：

教学实践探索

页数：

共2页

页码：

219-220

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[2] 蒋中伟,袁大军,祝安定,等.双光子三维微细加工技术及实验系统的开发[J].光学精密工程,2003,11(3):234-238.doi:10.3321/j.issn:1004-924X.2003.03.004.

[3] 王冲,袁宁丰,汪钢,等.激光干涉光刻技术的开发与应用分析[J].科学与信息化,2020,(23):84.

[4] 杨妹清.应用光刻的加工技术[J].光机电信息,1995,():4-7.

[5] 陈宝钦.中国制版光刻与微/纳米加工技术的发展历程回顾与现状[J].微细加工技术,2006,(1):扉页.